项目类型：

ZH

成果名称：

PCVD-300等离子体化学气相沉积设备

成果单位：

中国科学院大连化学物理研究所

检索用关键词：

PCVD-300 等离子体化学气相沉积设备

专利状况：

3

专利申请号：

应用行业：

D, G

技术领域：

9

技术产品用途介绍：

成果内容水平：
制备非晶硅太阳能电池，各种非晶硅膜、多晶态膜、钝化膜、硬化膜、金属膜及其它金属有机膜。处于国内领先水平。
主要技术指标：
真空度：掺杂室6×10-5 Pa 进片室2.6×10-4 Pa，工作真空可调。
样品尺寸：100×100
衬底温度：400℃，可调
RF电源：f=13.56MHZ 300W
结构：三个矩形真空室，420×300×250

产品性能：

0

市场前景及经济效益分析：

市场前景及经济效益：
价格约30万元人民币，
社会需求每年10台左右

成果权属：

1

项目来源：

1

转化方式：

7

成果状态：

9

成果单位详细信息：

查看成果单位详细信息