韩国开发出CMOS和碳纳米管制成的生物传感器

来源：日经BP社   发布者：张荐辕   日期：2015-03-05  

美国时间2015年2月24日，韩国科学技术院（Korea Advanced Institute of Science and Technology，KAIST）在半导体电路技术国际学会“ISSCC 2015”上发表论文演讲，介绍了使用CMOS与碳纳米管制成的医疗用传感器（演讲编号：16.6）。该传感器是在利用0.35μm工艺制造的CMOS晶圆上配置碳纳米管电极制成的。 这种传感器的特点是不使用金属电极连接导线。导线主要用于与外部进行信号交换以及提供电源电压，而此次的传感器则是让笔式阅读器直接接触金属板上的传感器以加载电压，然后通过与笔式阅读器相连接的个人电脑和智能手机来读取测量结果。 碳纳米管可以加工成与生物分子同等程度的尺寸，因此经常被用作生物传感器。不过，碳纳米管与CMOS工艺搭配使用时，加工必须谨慎，以防止碳纳米管与金属电极接触后发生短路。 KAIST此次开发的传感器的优点是，无需防止短路的后处理和表面加工，因此与以往的使用CMOS和碳纳米管制成的传感器相比，制造成本更低。由于医疗领域的传感器大多都是一次性的，因此必须控制价格。

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